電子、光學精密制造生產(chǎn)車間作為對生產(chǎn)環(huán)境最為嚴苛的制造工業(yè)大類,涵蓋了半導體芯片(晶圓)、3C鋰電池、pack、CCL電路基材覆銅板、PCB印制電路板、液晶屏及LED等各產(chǎn)業(yè)領域。由于電子光學產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格,對控制空間內(nèi)的微粒和浮塵、環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲、威震、防靜電等參數(shù)都作出了嚴格的規(guī)定。以保證產(chǎn)品的精確度和合格率。所以除了智能化生產(chǎn)設備和人員管理因素以外,電子光學精密生產(chǎn)車間的建設就肩負著把控產(chǎn)品質量的重大責任。
例如在半導體集成電路生產(chǎn)的光刻工序中,大型潔凈廠房中一般選用微環(huán)境,把加工工藝核心區(qū)隔離,在微環(huán)境的隔離區(qū)內(nèi)做到所規(guī)定的空氣潔凈度等級和環(huán)境控制規(guī)定(相對溫度、相對濕度、壓力,十級、百級、千級潔凈區(qū)),以保障作業(yè)區(qū)域內(nèi)產(chǎn)品免被污染。
以光電精密生產(chǎn)制造產(chǎn)業(yè)中萬級潔凈車間為例:
設計依據(jù):
1、《潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50073-2013);
2、《電子工業(yè)沽凈廠房設計規(guī)范》 GB50472—2008
3、《沽凈廠房施工與驗收規(guī)范》 GB50591—2010
4、《采暖通風與空氣調節(jié)設計規(guī)范》(GBJ19-87);
5、《通風與空調工程施工及驗收規(guī)范》(GB50243-97);
6、《潔凈室施工及驗收規(guī)范》(GB50591-2010);
7、《金屬面巖棉、礦渣巖棉夾芯板》 JC/T869—2000
8、《建筑設計防火規(guī)范》 GB50016—2010
9、《潔凈廠房建筑構造》 08J907
以某公司提供的平面布置圖等有關技術參數(shù)要求(設計參數(shù)):
1、萬級潔凈車間溫度要求20℃~25℃
2、濕度要求45%~65%
3、潔凈要求10000級
乙方設計參數(shù)指標為:(面積不同、室內(nèi)人員配置不同等,參數(shù)指標也不同,如下僅供參考)
1、潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應大于65dB(A)。
2、潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應小于60%,水平單向流潔凈室不應小于40%,否則就是局部單向流了。
3、潔凈室與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5Pa 。
4、潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應取下列二項中的最大值:補償室內(nèi)排風量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
5、保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。
達到既定環(huán)境潔凈度是通過各種手段共同完成的,平面設計方案、裝修材料 、系統(tǒng)建設中的通排風系統(tǒng)、暖通空調系統(tǒng)、凈化設備儀器等環(huán)節(jié)共同為之服務。
東莞市合景實業(yè)發(fā)展有限公司是一家專注無塵車間、GMP車間、無菌車間、潔凈實驗室等潔凈凈化工程系統(tǒng),集設計、規(guī)劃、施工、售后的EPC總包一站式解決方案承建商。立足廣東東莞,項目服務全國,在凈化行業(yè)扎根20年并不斷深化,是中國凈化工程行業(yè)3A企業(yè),堅持以科技為導向,以質量為準則,以客戶滿意為宗旨,嚴格遵守各規(guī)范標準及項目管控,確保每一項工程都是“交鑰匙”工程。在電子光學、能源電池、生物制藥、醫(yī)療器械、食品日化、航天航空行業(yè)建設了眾多標志性的優(yōu)質工程。先后服務于比亞迪、卡爾蔡司、華星光電、秋時電子、徐福記、TCL、ZTE中興、甘源食品、立高食品、曼秀雷敦、億緯鋰能、久森新能源、贛鋒鋰業(yè)、易事特、深科技、光韻達、廣發(fā)制藥、眾生藥業(yè)、香雪制藥、恩瑞醫(yī)療等眾多世界名企、百強企業(yè)的工程建設EPC工程項目,累計施工面積超過500萬平方米。
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